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310.第310章 28纳米自主可控(第9/13页)

,提高性能,为客户带来更好的选择,提高市场竞争力,这是智云微电子的既定策略。
这种在成熟工艺上持续推陈出新,也让智云微电子在28纳米工艺节点的代工市场上,获得了更多的代工订单。
庞大的订单也成为了持续扩充28纳米工艺产能的最大动力。
但是和以往扩充产能,都清一色采用进口设备不一样,今年开始智云微电子扩充28纳米工艺产能的时候,开始大量采用了国产设备。
也就是海湾科技所生产的HDUV-400型光刻机,同时附带的其他一些配套设备。
海湾科技提供的HDUV-400光刻机,在经过持续数月的改进后,已经能够把套刻精度稳定在五点五纳米的水准,这个水准已经足以大规模量产28纳米工艺,良率能够控制在一个比较高的水平,做到商业化生产。
如此情况下,智云微电子自然是大规模采购,并用于量产。
四月份,智云重新上市,其六千七百亿美元的市值再一次震惊世人的时候,智云旗下的智云微电子旗下,首条采用国产光刻机以及多种核心设备的28纳米工艺产线也正式投产,开始量产28纳米工艺芯片。
这意味着,国内的28纳米工艺开始自主可控,不需要担心外人卡脖子了。
同样也意味着海湾科技的HDUV-400型光刻机已经成熟,尤其是套刻精度上大有进步。
对于光刻机而言,最关键的参数有两个,一个是光源波长,比如DUV干式光刻机,则是193纳米的波长,而DUV浸润式光刻机,同样的光源下经过水的折射,可以把光源波长缩小到134纳米。
然后另外一个关键参数就是套刻精度,套刻精度有很多个说法,一般在量产工艺里使用的是MMO,也就是不同设备之间的套刻精度。
这个数据直接关系到大规模量产情况下的最小制程,良率等一系列关系性能,通常来说,只有满足五点五纳米的套刻精度,才能够实现28纳米工艺的大规模量产。
不然的话,勉强使用良率会非常低,成本高昂,不具备商业使用价值。
至于更进一步的18纳米以及十四纳米,甚至十纳米工艺这些,这就需要使用双重曝光技术,这对套刻精度要求更高,要求能够达到三点五纳米的套刻精度……


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