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310.第310章 28纳米自主可控(第10/13页)

也是为什么说十八纳米工艺节点有些尴尬的原因,因为用来生产十八纳米的光刻机,它也能用来生产十四纳米。
同样的设备,我为啥不生产十四纳米工艺的芯片?
但是再往下的七纳米,这就需要使用四重曝光,这对套刻精度提出了更进一步的要求,常规来说需要达到二点五纳米的套刻精度,如此才能够让良率稳定在一定的水准。
如果套刻精度不足的光刻机,强行采用四重曝光生产七纳米芯片,良率会非常低,成本非常高昂,除非特殊情况,不然没人这么干的。
而海湾科技目前的目标,就是进一步缩小套刻精度,争取做到二点五纳米的水准,然后满足七纳米的生产需求。
不过这也挺难的,这可是实打实的物理极限的提升,每一纳米的套刻精度提升都是无比艰难的。
当然,二点五纳米套刻精度的光刻机,现在海湾科技还搞不出来,甚至三点五纳米套刻精度的光刻机,现在也磕磕绊绊,还得继续琢磨,估计下半年才能小批量供货测试,大规模量产使用,那都得明年去了。
但是,现在的五点五纳米套刻精度的HDUV-400光刻机,却是已经成熟可用了……智云微电子那边都用这款光刻机,大规模投产二十八纳米工艺的芯片了。
如果是用来生产三十二纳米工艺,四十纳米工艺或四十五纳米工艺这些更成熟的工艺,那就更不用说了,小菜一碟!
甚至都可以来上一句性能过剩。
智云微电子那边,开始使用HDUV-400光刻机进行投产,这个消息,让业内不少关注国产光刻机的其他芯片厂商看了大为动心。
他们也想要这种便宜好货,来大幅度降低先进工艺的资金投入啊。
海湾科技的光刻机,虽然整体性能差了点,比不过ASML的光刻机,但是人家卖的便宜啊,不仅仅售价便宜,后续的维护费用也便宜。
这就让很多资金不是很充裕的晶圆厂很动心!
反正他们也没什么野心搞更先进的双重曝光,玩什么十八纳米,十四纳米工艺,他们就想玩个四十五纳米工艺,撑死了再搞个二十八纳米工艺。
这个海湾科技的HDUV-400光刻机,已经很充分了。
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不久后,中芯方面也随后

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