使用,四星甚至都有采购……而且这种先进后道光刻机,海湾科技卖的很贵的,价格比国外同类型竞品还高。
然后蚀刻机做的也比较好,基本上能够满足10-22纳米工艺的需求,其中的先进型号已经能够满足10工艺,也算是超前发展了,同样也供应国内外客户。
其他的多种核心设备,基本也能满足十四纳米工艺或二十八纳米工艺的需求。
”我们的目标,是争取在后年,把这十多种核心设备的技术指标,全部提升到满足等效10纳米工艺的程度。”
”然后在这个基础上,继续向7纳米工艺乃至未来的5纳米工艺所需要的技术指标推进!”
“对此,我们的信心还是很大的!”
徐申学心中则是暗道:“二十个S级科研名额,百十多个A级科研名额都投在了仙女山控股体系下,如果你们还没信心,我就要怀疑你们是不是有真材实料了。”
仙女山控股体系下的各企业,一向来是徐申学的科研名额的投入大户,每个月新增加的成就点所购买的S级以及A级别的科研名额,基本都是给仙女山控股体系这边用了。
智云集团那边除了智云微电子外,其他项目组,子公司都已经好久没有得到过A级以上的科研名额新增了,都是用原来的一些科研名额顶着,不过原来分配过去的高级别科研名额也不少,所以也够用了。
看完了诸多这些现成的核心设备,徐申学又了解了一番EUV光刻机的研发进度。
王道林介绍道:“目前我们正在汇同各大子系统供应链企业,对EUV的多种关键技术进行集中攻关!”
“主要是EUV光源系统,高精度的弧形离轴反射镜构成的光学系统,还有超高精度的真空双工件台。”
“除了光刻机本身的技术外,我们也在配合仙女山控股体系下的其他兄弟公司,研发EUV掩膜版,沉积工艺等等。”
“而我们负责主导的EUV光刻机研发上,目前光源系统的进度是比较快速的,我们之前获取了完整了EUV所使用极紫外光光源的技术资料,而经过我们数年的反复尝试和试验,已经算是制造出来了极紫外光的光源!”
“但是距离实用性还有一定的差距,我们的激光部分问题不大,但是在激光轰击锡滴的频率还是不够,无法达到技术资料上所需要的每秒五万次
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